解决方案

MEMS微型气体传感器芯片

  伴随着国家空气质量指标、各行业大气污染物排放标准的颁布实施,以及国家对大气环境污染恶化的重视,生产企业必须肩负起自己的社会责任。但大气污染源具有复杂性,污染物具有流动性,采用少数几个具有传统大型检测仪器的检测站点来监控排放,几乎是毫无用处的。为实现大气污染治理改善,需要对环境空气质量实行高密度实时监控。

  另外,随着环境空气质量的恶化和呼吸系统疾病的巨增,人们对自己居住空间的有害气体含量越来越关注。许多高档社区、医院与商场等公共场所对自身及周围环境实施了监管;部分高档汽车厂家已经对车内空气质量实施了监控;另有几家手机厂家已经或正在开发空气质量监控的个人穿戴式应用,手机的应用将打开气体传感器应用巨大市场的想象空间。

  目前,MEMS气体传感器在国外也只是刚刚兴起,在国内则还停留在大学、研究所试验室阶段,这些国内试验室多数考虑的是发表论文、获取科研项目,缺乏产业化的知识和视野。国内多数大学、研究所的这种局限性决定了他们很难制造出商业化的MEMS气体传感器及衍生产品。

  巨正MEMS气体传感器批量制造,替代进口产品,并通过持续研发,实现产品国际领先水平。

  这种新型的气体传感器将MEMS技术和纳米技术结合起来,具有小尺寸、低功耗、快速相应、高灵敏度、高选择性、高稳定性、低成本,是便携式应用和高密度实时监控应用的理想选择。

 

        

 

  MEMS结构示意图

 

  具体性能参数:

  低成本;

  微体积(芯片大小2*2mm,封装尺寸5*5*1.3mm);

  高灵敏度(0.1-2ppm);

  非常低的功耗;

  长期稳定性;

  长寿命(MEMS的工作寿命大于10000小时);

  技术领先(结合厚膜技术、薄膜技术和硅衬底技术,利用专利配方的气体铭感层沉积于加热器和叉指电极的顶部);

  提供包括整合应用电路在内的完成的气体传感器应用模块;

  提供移动终端数据接入与访问接口。

 

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